В РФ разработали оборудование для микросхем топологических норм 65 нм
Научно-исследовательские институты НИИМЭ и НИИТМ, входящие в группу компаний «Элемент», завершили создание первых в России кластерных систем для плазмохимического осаждения (ПХО) и травления (ПХТ). Эти установки позволят производить интегральные микросхемы по топологическим нормам 65 нм на пластинах диаметром 200 мм и 300 мм. Об этом сообщили в компании.
Институты вошли в число пяти мировых лидеров, обладающих компетенциями в создании и производстве такого оборудования.
Основным исполнителем проекта выступил НИИМЭ, который обеспечил строительство чистых производственных помещений, монтаж и подключение опытных образцов оборудования, разработку технологических процессов и их испытания. НИИТМ, в свою очередь, стал основным соисполнителем, разработав само оборудование и приняв участие в проведении испытаний.
Установки для уровня 65 нм на пластинах 300 мм обеспечат в том числе перспективную потребность отечественной микроэлектроники, отметил замминистра промышленности и торговли РФ Василий Шпак. По его словам, особую ценность представляет модульность платформы, поскольку она позволяет отрабатывать процессы на существующем оборудовании и служит основой для перехода к более тонким техпроцессам.
В «Элементе» пояснили, что оборудование позволяет применять установки как на действующих, так и на планируемых производствах, где используются технологические нормы, реализованные на пластинах 200 мм. Генеральный директор НИИМЭ Александр Кравцов и гендиректор НИИТМ Михаил Бирюков отметили, что создание российских кластерных систем для ПХО и ПХТ станет ключевым этапом на пути к технологической самостоятельности отечественной микроэлектроники.
25 ноября Шпак говорил, что программа по развитию электронного машиностроения в России испытывает недофинансирование на сумму 33,1 млрд руб. С 2024 г. финансирование программы сократилось на десятки миллиардов. В связи с этим к концу 2025 г. программа рискует отстать в реализации десятков проектов, добавил он.
Шпак рассказал, что в 2024 г. на развитие программы планировалось выделить 43,3 млрд руб., но фактически было выделено лишь 23,7 млрд руб. В 2025 г. при плане в 40 млрд руб. реальные расходы составили 15,7 млрд руб. На 2026 г. запланировано 30 млрд руб., на 2027 и 2028 гг. – по 25 млрд руб. По данным замминистра, к концу 2025 г. отставание в реализации НИОКР достигнет более 60 проектов.