"Роснано" пошла по стопам Intel

Сегодня «Роснано» объявит об участии в раунде инвестиций в нидерландского разработчика оборудования для производства микросхем Mapper Lithography общим объемом 80 млн евро, рассказали «Ведомостям» представители обеих компаний. «Роснано» вкладывает 40 млн евро, еще столько же – существующие акционеры Mapper: инвесткомпании ADP Industries, Parcom Capital и Hoving & Partners, технологические компании Technolution и DEMCON, частные инвесторы и фонды, а также агентство Нидерландов при минэкономики этой страны. Значительная часть инвестиций «Роснано» пойдет на создание в России производства электронной оптики на основе микроэлектромеханических систем – ключевых компонентов, которые использует оборудование Mapper.

Несколько десятилетий микропроцессоры выпускались по технологии фотолитографии: на кремниевую подложку наносится слой чувствительного к свету материала-фоторезиста, потом через фотошаблон-маску на него подают свет и удаляют засвеченный фоторезист с помощью химикатов. Однако минимальные размеры элемента на микросхеме, соответствующие половине длины волны светового излучения, все время уменьшались и уже приблизились к границе между светом и рентгеновским излучением. У рентгеновского же излучения свойства другие: оно хуже отражается и вдобавок проходит сквозь вещество, так что обычные технологии фотолитографии применить намного сложнее.

Сейчас есть всего две перспективные технологии литографии: одну разрабатывает лидер рынка ASML, другую – Mapper, объясняет старший инвестиционный менеджер «Роснано» Василий Костяновский. ASML привлекла инвестиции только что: в июле 2012 г. 15% ее акций приобрела за $3,1 млрд Intel, плюс еще $1 млрд вложила в ее программу НИОКР.

Недавно ASML объявила о переносе запуска серийного производства на 2016 г., а это дает шансы конкурирующей технологии, говорит Костяновский. По его словам, Mapper нужны деньги, чтобы создать промышленное оборудование. Гендиректор и один из основателей Mapper – Берт Ян Камфербеек уточняет: первое производство на базе ее технологии планируется открыть в 2014 г.

В литографии и раньше существовало несколько конкурирующих технологий и успех одной не означает провала другой, рассуждает руководитель подразделения «Ситроникс микроэлектроника» Геннадий Красников. Но Mapper найдет свою нишу на рынке, так что инвестиции «Роснано» перспективные, уверен он.