В РФ освоили выпуск около 60 критически важных материалов для микроэлектроники

За последние три года в России освоено производство порядка 60 критически важных позиций материалов и химической продукции для микроэлектроники, еще примерно столько же наименований планируется вывести на рынок к 2029 г. Об этом на форуме «Микроэлектроника-2026» рассказал первый вице-премьер Денис Мантуров.

Речь идет, в частности, о высокочистых и специальных газах, фоторезистах, антиотражающих покрытиях, особо чистых растворителях и прекурсорах (исходные химические вещества, которые используются для более сложных соединений). По словам Мантурова, всего сейчас ведется более 100 разработок в области оборудования, материалов, специальной химии и средств автоматизированного проектирования для микроэлектроники.

Параллельно развивается отечественное оборудование для производства микросхем, поделился Мантуров. Россия переходит к серийным поставкам первого отечественного фотолитографа с разрешением 350 нм, напомнил он. Кроме того, совместно с Белоруссией уже изготовлен опытный образец установки на 130 нм, для которой разработан собственный эксимерный лазер. В Зеленограде также завершается создание научно-технологического центра по выпуску фотошаблонов с поэтапным освоением топологических норм вплоть до 28 нм. Для других стадий производства уже разработаны российские системы плазмохимического травления и осаждения.

Как рассказал Мантуров, в 2025 г. закупки российской электроники на регулируемом рынке выросли на 13% до 750 млрд руб., а ее доля достигла почти 65%. В дальнейшем дополнительный спрос должен сформировать переход субъектов критической информационной инфраструктуры (КИИ) на отечественные доверенные решения, сообщил первый вице-премьер.