Минпромторг выделит 1,4 млрд рублей на оборудование для микроэлектроники

Минпромторг направит около 1,4 млрд руб. на разработку отечественного оборудования для жидкостной химической обработки кремниевых пластин. Разрабатываемая автоматизированная линия позволит выполнять травление, очистку и сушку пластин диаметром до 100, 150 и 200 мм в составе серийных техпроцессов. Такая установка должна заменить американские и японские аналоги, использующиеся на российском производстве. Тендер на создание опытного образца размещен на портале госзакупок, обратили внимание «Ведомости».

Жидкостное травление происходит посредством опрыскивания поверхности пластины химическим раствором, знает руководитель проектов компании «Интеллектуальная аналитика» Тимофей Воронин. Реагенты вступают в реакцию с материалом и равномерно растворяют его по площади пластины и во все стороны. Подобные установки необходимы для быстрого удаления толстых слоев, очистки от органических загрязнений и избирательного вытравливания остатков материалов с разной скоростью без создания дополнительных дефектов, подчеркнул он.